石英坩埚的变形是减少其应用效率高降低的一项关键要素,因此在其应用中,大家需详尽来掌握设备的变形缘故,进而搞好处理和防止的对策。
一、放料方式不合理
1、在液位仪网上的料与石英坩埚的触碰呈面接触情况,这在熔料全过程中非常容易发生挂边造成坩埚变形。
2、坩埚上方所有装了碎小粗料,这在熔料的时候容易发生下边已溶完,上方呈结晶体情况而导致坩埚变形。
二、熔料方式不合理
现阶段在太阳能单晶体生产制造中,广泛都选用热屏加工工艺,而热屏应用一般又分成上挂式和下发式二种。
因为熔料方式不合理导致变形的缘故有下列二种:
1、在上壁挂式热屏中如选用.上方先熔法,将要埚位先降至较底位,让上方料先熔,这类方法非常容易在熔料全过程中造成石英坩埚变形。
2、在下挂式热屏中一般.上方不易变形,但假如上方硅料溶化下移后如不立即将埚位升高,石英石埚底端非常容易起包变形。
三、熔料输出功率不合理
温度对石英石埚变形的直接影响具体有下列二点。
1、温度过高
因为硅溶点为1420C,一般的熔料温度在15501600C上下,假如熔料温度过高,在熔料全过程中非常容易发生变形。
2、温度过低
当熔料料温度稍低时,坩埚.上方的料与埚壁触碰处易发生似熔非熔的情况,时下部料熔完上方已挂边的块料面层将石英坩埚往下拉而发生变形。
四、原料问题
原材料品质参差不齐,所含残渣远远高于初始多晶体,酸洗工艺不绝健全,这对坩埚的常规应用危害也特别大,具体表现在非常容易发生比较严重析晶。
五、石英石自身存有产品质量问题
1、石英坩埚在生产制造,清理,包裝中遭受脏污发生析晶(包含液位仪线以上的一部分)那样石英坩埚原来的薄厚会减薄,抗压强度也随着降低,非常容易发生变形。
2、在置放石英坩埚和填装硅料的历程中因为使用不合理坩埚遭受脏污也会导致变形。
3、石英坩埚原来薄厚过薄,抗压强度不足,也易发生坩埚变形。